张耀辉1989年毕业于南京大学物理系，1995年在中科院半导体研究所获博士学位，1995至1996年为德国Paul-Drude固体电子研究所博士后，1996年1998年任新加坡国立微电子研究所研究员，1998年至2001年任新加坡国立微电子研究所高级研究工程师。